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      半導體行業螺桿式干式真空泵的應用

      時間:2016-01-08 10:28來源:相關內容資詢請聯系我們 作者:網文寫手 點擊:

           螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。
           在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。 

       

         螺桿真空泵具體應用主要體現在:干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、油氣回收、工廠普通真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業領域 能夠抽除普通空氣,易燃易爆氣體、腐蝕性氣體,尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環境。

       

        

        半導體行業為代表,要求真空泵向被抽空間內的返流為零,以保護工件免受污染。
               對半導體行業中應用的真空系統的要求大體分為三個等級。
                   ①清潔條件下的抽氣,只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣;
                   ②中等條件下的抽氣,抽除工藝過程的反應氣體,但無固體顆粒物;
                   ③惡劣條件下的抽氣,抽除化學反應物(有毒甚至致癌)及固體顆粒物。

      (責任編輯:admin)
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