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      油擴散泵的發展趨向特點

      時間:2016-03-08 08:37來源:未知 作者:網絡 點擊:

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      (1)采用飽和蒸氣壓低,性能好的新工作液,以提高泵的極限真空。
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      如聚苯醚、聚乙烯醚等。
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      現在普遍使用的是硅油。
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      (2)改進結構,提高抽速。
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      (3)降低泵的反油率。
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      例如在擋板敷聚四氟乙烯可使返油率大為減少。
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      (4)縮短泵的啟動時間。
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      (5)擴大抽氣工作壓強范圍,國外在0.4~10-8Pa之間,抽速不變。
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      (6)提高最大反壓強,國外較好的泵排壓在79.99-106.66Pa之間。
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      (責任編輯:admin)
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