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      半導體行業中真空泵機組的組合

      時間:2016-03-08 08:37來源:未知 作者:網絡 點擊:

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      在半導體行業中都是采用羅茨DVE真空泵與干泵組成的真空機組,一方面可以減少干泵的尺寸,另一方面可以在中真空范圍內獲得較大的抽速。
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      由于羅茨DVE真空泵的軸承和同步齒輪都需要潤滑,這潤滑油會對真空工藝造成污染。
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      解決的辦法是在齒輪箱的端蓋上外接一段真空管路,并用另一臺輔助DVE真空泵將齒輪箱內的壓力抽到低于羅茨泵的入口壓力,見圖1所示。
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      這樣,在這個壓力梯度下,齒輪箱內油蒸汽就不會通過迷宮式軸封而進入泵腔造成污染。
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      另外當羅茨DVE真空泵抽除有害氣體時,要求電機傳動軸的密封絕對不能泄漏,因而出現了屏蔽電機羅茨泵,確實做到了零泄漏。
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      (責任編輯:admin)
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