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      什么是真空泵的漏率?

      時間:2016-03-08 08:30來源:未知 作者:網絡 點擊:
      系指在規定條件下,一種特定氣體通過漏孔的流量。
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      DVE真空泵的漏率與極限壓力有直接關系,在極限壓力下運轉的DVE真空泵中,它的氣體狀態已接近分子流,氣體的分子自由程較大,氣體分子不易穿透轉子與各相關零部件之間的間隙,也就是說此時間隙對極限壓力的影響已極其微小,能影響極限壓力的因素就只有漏率了。
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      所謂DVE真空泵達到了極限壓力,就是滲漏進入DVE真空泵的氣體與DVE真空泵抽出的氣體達到了動態平衡,進入了相對穩定狀態。
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      DVE真空泵漏率的測試方法有關閥測漏法和氦質譜測漏法二種。
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